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PRECESS普瑞賽思
普瑞賽思真空閥門
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產(chǎn)品分類15796516293
PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥(V76系列)用于太陽能和FPD生產(chǎn)系統(tǒng)中的在線工藝室隔離。
PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥(V75系列)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。
PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥(V41系列)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進(jìn)氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。
PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥(V60系列)已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百種要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其出色的可靠性。它們已成為DN 63-320 mm尺寸的任何高壓隔離要求的標(biāo)準(zhǔn)。
PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21帶保溫套)配備了VATLOCK技術(shù),該技術(shù)是專門開發(fā)的,可在閘門密封處提供可靠的密封而不會產(chǎn)生任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障,這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定。
PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21系列3位)通用于研究和工業(yè)中的超高真空隔離應(yīng)用。特別適用于泵的隔離。
PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21系列)配備了VATLOCK技術(shù),該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的,在閘門密封處沒有任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障,這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定。
PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥(V20系列)配備了VATLOCK技術(shù),該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的,不會產(chǎn)生任何摩擦,從而避免了顆粒的產(chǎn)生。
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥(V78系列)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。
PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥(V73系列)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。