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PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進(jìn)氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | 域勢(shì)科技 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
|---|
PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）
該產(chǎn)品采用集成式控制器設(shè)計(jì)，它將控制器與閥門本體集成在一起，減少了外部布線和連接的復(fù)雜性，提高了系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性，同時(shí)也便于安裝、調(diào)試和維護(hù)。
特點(diǎn)
l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296）
l無(wú)顆粒，提供極其干凈的理想進(jìn)氣室
l100萬(wàn)個(gè)使用壽命周期
l高真空角閥
l氣動(dòng)執(zhí)行器，雙作用
l智能模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)
選項(xiàng)
l白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化表面處理
l可定制開口尺寸
l各種O型圈[Kalrez、Chemrazetc.]
應(yīng)用
l半導(dǎo)體加工
l所有CVD工藝（包括MO、PE、HDP、LP和AP）
l太陽(yáng)能工藝制造
l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)
PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）
技術(shù)參數(shù)
執(zhí)行器 | 氣動(dòng) | ||
閥體材質(zhì) | 不銹鋼 | ||
饋通 | 不銹鋼 | 波紋管 | |
陽(yáng)極氧化鋁 | O型圈軸 | ||
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | ||
泄漏率 | 不銹鋼 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
陽(yáng)極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar l/s | ||
壓力范圍 | 不銹鋼 | 1 × 10-8 mbar to 2 bar | |
陽(yáng)極氧化鋁 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar | ||
閘門開啟方向的壓差 | ≤ 1.2bar | ||
閘門關(guān)閉方向的壓差 | ≤ 1.2bar | ||
開口處的壓差 | ≤ 1bar | ||
first使用前的生命周期 | 不銹鋼 | ≥300,000 | |
陽(yáng)極氧化鋁 | ≥100,000 | ||
溫度 | 不銹鋼 | 閥體 | ≤ 150 °C |
閥門 | ≤ 150 °C | ||
執(zhí)行器 | ≤ 120 °C | ||
陽(yáng)極氧化鋁 | 閥體 | ≤ 150 °C | |
閥門 | ≤ 150 °C | ||
執(zhí)行器 | ≤ 120 °C | ||
材質(zhì) | 不銹鋼 | 閥體 | AlSI 304 (1.4301) |
閥門 | AlSI 304 (1.4301) | ||
閥帽 | AlSI 304 (1.4301) | ||
陽(yáng)極氧化鋁 | 閥體 | EN AW-6061（3.3211） | |
閥門 | EN AW-6061（3.3211） | ||
閥帽 | EN AW-6061（3.3211） | ||
表面處理 | 不銹鋼 | 閥體 | 電解拋光 |
閥門 | Bare | ||
閥帽 | 電解拋光 | ||
陽(yáng)極氧化鋁 | 閥體 | 白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化 | |
閥門 | 白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化 | ||
閥帽 | 白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化 | ||
密封 | 不銹鋼 | FKM（Viton®）或根據(jù)要求 | |
陽(yáng)極氧化鋁 | FFKM（Kalrez®9500） | ||
安裝位置 | 任意 | ||
電磁閥 | 24 VDC或應(yīng)要求 | ||
位置指示器 | 類型 | 簧片開關(guān) | |
電壓 | 12V/24VDC或應(yīng)要求 | ||
電流 | 5-50 mA | ||
連接器 | AMP 4P mate/D-Sub 9P male | ||
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 4 mm | ||
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