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Bronkhorst FLEXI-FLOW氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器將快速穩(wěn)定的芯片傳感器與可靠準(zhǔn)確的旁路技術(shù)相結(jié)合。緊湊創(chuàng)新型儀表是質(zhì)量流量測量和控制領(lǐng)域的一次重大飛躍：質(zhì)量流量測控 #重新定義

Bronkhorst EL-FLOWPrestige氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器作為Bronkhorst新一代熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，在通用性和用戶操作方便性方面具有突破性的變革與創(chuàng)新。

Alicat MCD雙閥雙向氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器可以控制質(zhì)量流量,體積流量,或氣體壓力。雙向同時(shí)測量流量,壓力,溫度。

使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質(zhì)量流量控制器配備氣動截止閥，可用于控制真空應(yīng)用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質(zhì)量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力?？梢钥刂聘?..

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以同時(shí)控制質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時(shí)測量多達(dá) 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以在可用系統(tǒng)壓力非常小時(shí)（壓降低至 0.07 PSID）時(shí)控制兩個(gè)方向的質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質(zhì)量流量泵控制器很容易與現(xiàn)有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨(dú)的PID控制器即可實(shí)現(xiàn)自動化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。該精密控制器讀取質(zhì)量流量在40毫秒...

Alicat艾里卡特MBS耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計(jì)（便攜式）可測量 130 多種氣體的質(zhì)量流量和體積流量，包括 32 多種腐蝕性氣體，使其成為流動腐蝕性氣體過程的移動校準(zhǔn)、驗(yàn)證和驗(yàn)證的理想選擇。

Alicat艾里卡特MWB低壓損氣體質(zhì)量流量計(jì)（便攜式）測量質(zhì)量和體積流量,壓力降至0.07pid(4.8mb),用于沒有可用壓力的系統(tǒng)。